今天际诺斯想和大家分享一下 Chiplet 芯片在军工和汽车电子领域的应用,以及我们如何用 X-Ray 检测技术确保这些芯片的“超高可靠性”,Chiplet 芯片是一种将多个小芯片拼接在一起的技术,类似于搭积木的方式组成一个功能强大的大芯片,这种技术被称为“异构集成”或“先进封装”,在军工和汽车电子领域,芯片需要承受极端温度、强烈震动和长期使用,任何一个小缺陷都可能导致系统瘫痪,因此缺陷检测是至关重要的环节,传统的光学检测只能看到芯片表面,但 Chiplet 芯片内部有多层结构,比如硅中介层和微凸点这些地方的光学检测根本看不透,而 X-Ray 检测就像给芯片做“CT扫描”,能够穿透多层结构发现内部隐藏的缺陷,这就是为什么 X-Ray 在 Chiplet 检测中如此重要。

军工和汽车级应用对缺陷容忍度极低,目标是“零缺陷”,现实是在 Chiplet 芯片制造过程中早期失效和潜在缺陷是最主要的隐患。
早期失效指的是芯片刚使用不久就出现故障,例如焊点空洞导致接触不良或者微裂纹在震动中扩大,这些缺陷在出厂时可能无法被检测出来,但在使用中可能会突然爆发,传统检测方法,如光学检测只能看到表面划痕或脏污,对内部焊点空洞、微裂纹完全无能为力,而可靠性测试(如高温老化、温度循环)虽然可以筛选出部分问题,但成本高、周期长,不适合大规模生产,我们面临的核心挑战是如何在生产线上快速、准确地发现这些潜在缺陷,避免它们流入军工或汽车系统。
为了实现零缺陷我们设计了基于风险分析的检测流程,简单来说就是先分析芯片最容易出问题的地方然后重点检测,失效分析表明Chiplet 芯片最常见的缺陷包括:
焊点空洞(焊接不饱满)
微裂纹(材料内部细微裂缝)
界面分层
针对这些缺陷我们构建了多维度缺陷识别模型,例如焊点空洞在 X-Ray 图像上表现为圆形或椭圆形的暗区,而微裂纹则像细长的线条,通过设定不同的灰度阈值和形状参数,我们可以自动识别这些缺陷,更重要的是我们建立了实时反馈机制,一旦检测到某个批次缺陷率升高系统会自动调整检测参数,并通知工艺工程师优化生产流程,这种闭环优化路径让缺陷率持续下降。
X-Ray 检测在 Chiplet 芯片中扮演着不可替代的角色,它的核心优势有三点:
现代 X-Ray 系统可以达到纳米级分辨率,能够看清微米级的焊点空洞和微裂纹,这对军工和汽车级芯片来说至关重要。
X-Ray 不会损伤芯片,可以在生产线上进行全检,而不是抽检,这意味着我们可以筛选出每一个有潜在缺陷的芯片,避免早期失效。
Chiplet 芯片内部有硅中介层、微凸点等复杂结构,X-Ray 能轻松穿透这些层,查看内部连接是否完好。
小贴士:硅中介层与微凸点,硅中介层是 Chiplet 芯片中连接不同小芯片的“桥梁”,而微凸点则是焊接点这些地方最容易出现缺陷,X-Ray 是唯一能有效检测它们的手段。
在 X-Ray 检测中参数波动一直是个头疼的问题,电压、电流、曝光时间稍有变化,图像质量就会不同,导致漏检或误检。
传统做法是把参数波动当作随机误差,通过手动调参或一键优化来压制,但我们发现,参数波动与特定缺陷(如微裂纹、焊点空洞)有很强的关联性,例如当焊点空洞增多时X-Ray 图像的对比度会下降,系统会自动调整曝光时间,这个调整过程本身就是缺陷预警,我们利用统计过程控制(SPC) 方法,分析参数波动与缺陷的关联,建立了“波动-缺陷映射”模型,当参数波动超出阈值时,系统会自动触发缺陷概率预警,而不是等检测完才发现问题。
另一个问题是数据孤立,X-Ray 检测参数(电压、电流、曝光时间、焦点位置)不仅是检测条件,更是芯片制造工艺状态的“指纹”,这些参数与 MES 系统(制造执行系统)、失效分析数据库、设计数据(如 GDSII)关联起来,就能构建芯片的“数字孪生”模型,例如当检测参数出现异常波动时我们可以反向追溯工艺环节,如键合压力、温度曲线,找到问题根源。
数字孪生就是给芯片建一个虚拟模型,实时反映它的状态,检测参数就是模型的“心跳”,波动就是“生病”的信号,为了实现这一点我们制定了统一的参数编码标准,基于 SEMI EDA 标准,开发了参数自动上传与解析接口,检测数据不再是死数据,而是工艺改进的“活数据”。
在实际工作中我们最头疼的就是参数波动,不同批次、不同操作员,参数设置都不一样,导致检测结果不稳定,为了解决这个问题我们开发了参数一键优化功能,系统会根据芯片类型和检测要求,自动计算最佳参数组合并保存为标准 SOP,操作员只需一键调用就能保证检测一致性,同时我们实现了数据标准化与系统间互联互通,X-Ray 检测系统与 MES 系统 对接,检测结果自动上传,并与生产批次、工艺参数关联,,一旦发现缺陷,可以追溯到具体工艺环节,实现全流程质量追溯。
我们的一位客户是某汽车电子供应商,专门生产车规级芯片,他们用传统 X-Ray 系统检测 Chiplet 芯片,但参数波动大,漏检率高,经常被客户投诉,客户找到我们,希望解决两个问题:一是提高检测准确率,二是实现数据互通,我们为他们定制了 X-Ray 检测系统,集成了 AI 辅助检测 功能,AI 模型经过大量缺陷图像训练,能自动识别焊点空洞、微裂纹等典型缺陷,准确率远超人工,实施效果非常显著:检测准确率从 95% 提升至 99.8%,误检率下降 60%,检测效率提升 30%。更重要的是数据互通实现了全流程质量追溯,客户现在可以实时查看每个芯片的检测结果,并追溯到具体工艺参数,一旦发现问题能立即调整生产流程,客户反馈说:“这套系统不仅解决了漏检问题,还帮我们优化了生产工艺,整体良率提升了 5%。”
X-Ray 检测在 Chiplet 芯片军工和汽车级应用中扮演着关键角色,它不仅能发现焊点空洞、微裂纹等潜在缺陷,还能通过参数智能化和数据互联互通,实现从“被动检测”到“主动预警”的转变,我们提供的检测解决方案,已经帮助多家客户实现了零缺陷目标,希望这篇文章能为你提供可复用的最佳实践,让 Chiplet 芯片在军工和汽车领域发挥更大价值。
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