Chiplet 技术正在成为半导体行业的热点,它通过将多个小芯片拼接在一起实现性能提升和成本降低,但与此同时也带来了新的检测难题,在传统X-Ray检测中工程师只能看到较大的缺陷,而对微小裂纹或空洞则无能为力,更复杂的是不同材质的芯片之间,缺陷的表现形式差异很大这导致检测参数容易波动,漏检和误检率高,数据也无法统一管理,而X-Ray的真正价值在于提前发现工艺问题,而不是等到缺陷积累后再补救,际诺斯从工程师视角分享AI X-Ray如何解决Chiplet异构集成中的缺陷识别难题。

在实际工作中我们遇到过多种类型的缺陷,例如:
键合失效:就像胶水没粘牢
层间错位:像是积木没有对齐
微凸点空洞:就像焊点里有小气泡
最棘手的是跨芯片的缺陷,如TSV空洞和RDL裂纹,它们隐藏在芯片堆叠的深处,传统方法难以识别,有一次我们处理了一批微凸点空洞较多的芯片,按照传统方式只能一张张看X光片,猜测问题来源,后来我们发现这些空洞存在“时空关联性”——一个空洞可能引发后续层间错位,甚至导致TSV应力裂纹。
提示: 不要只关注单个缺陷,还要注意缺陷之间的关系链,AI模型如果能分析这种路径,就能帮助你提前干预。
为了应对这些问题我们引入了AI X-Ray系统,但AI并非万能它需要根据不同的情况进行调整,例如针对不同材质的Chiplet,我们采用迁移学习先让AI学会识别硅中介层的缺陷,再微调后用于有机基板的检测,大大节省时间和精力,参数波动是一个大问题,电压或曝光时间稍有变化,AI模型就可能“出错”,为此我们引入了强化学习,让AI能够根据工艺变化自动调整参数,更高效的是AI还能生成“参数敏感度热力图”,直接指出哪个参数最关键,并给出调整建议,以前调参数靠经验,现在有了数据支持,效率显著提升。
提示: AI 模型需要高质量的数据来“学习”,如果你能收集不同工艺条件下的缺陷图片,AI会越来越智能。
去年我们的客户公司(一家先进封装企业)部署了AI X-Ray系统,目标是识别20多种Chiplet特有缺陷,包括键合缺陷、微裂纹、金属线断点、微凸点空洞、TSV空洞等,实施过程并不简单,我们采集了10万张X光片,人工标注了所有缺陷类型,然后进行模型训练,部署后,效果非常显著:
漏检率下降65%
误检率降低58%
检测效率提升40%
以前一个批次需要8小时完成检测,现在只需3小时,更令人惊喜的是数据互联互通,AI系统直接连接MES和SPC系统,检测数据自动上传,有一次我们发现某批次微凸点空洞高发,AI自动关联了上游工艺参数,发现是贴片压力波动了0.5%导致的,以前查这个根因需要翻三个系统花半天时间,现在几分钟就解决了。
AI X-Ray 最让我省心的地方是“一键优化”,以前换一个工艺,我需要重新调整电压、电流、曝光时间,至少折腾半天,现在AI可以自动匹配最佳参数,并根据工艺变化实时调整,更厉害的是“自进化”机制,系统内置在线学习模块,每次检测后都会对比实际缺陷和模型预测,如果发现新缺陷类型或参数漂移,它会自动触发模型微调,完全不用我操心,这就好比一个越用越聪明的助手,让我从重复调参中解放出来,专注于工艺改进。
未来AI X-Ray 会越来越智能,从“工具”变成“伙伴”,它帮助我们应对Chiplet异构集成的复杂挑战,推动良率持续提升,如果你也在为参数波动、漏检误检发愁不妨试试AI X-Ray——它可能是你一直在寻找的神器。
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